N2パージシステムの先を行く

真空ガス置換システム VGX-system

VGX-systemの概要

VGX-systemは真空中でFOUP内のガス置換を行うためのOHT対応型真空ガス置換システムです

特許取得


VGX-system 操作の流れ

 

1.FOUP load

  OHTまたは手動で  FOUP load

2.真空排気

  上蓋を閉じ、チャンバーおよびFOUP内を真空排気

  ウェーハを真空中で長時間保管できます

3.N2導入

  N2ガスを導入

  N2ガス使用量 約 70 L

4.FOUP unload

  OHTまたは手動で  FOUP unload

  FOUP内は N2


N2パージシステムとの比較

N2パージシステム

VGXシステム

デメリット メリット
FOUP内の酸素濃度、湿度の低減に時間がかかる 酸素濃度、湿度低減が短時間で可能
酸素濃度、特に湿度の低減が不十分 低酸素濃度、低湿度が可能。真空引きによるFOUP内面およびウェーハ表面の脱ガス効果がある
FOUPの気密性が悪く、パージを停止すると酸素濃度、特に湿度が上昇する FOUPの気密性に影響されず、長時間真空中で保管できる
パージ後も微量のパージガスを流し(維持パージ)、保管することがあり、パージガスの消費量が多い 真空中、パージガス不要
窒素ガスの場合、安全面への配慮が必要 窒素ガスは外部に漏れないので安全
メリット デメリット
コストがかからない イニシャルコストがかかる
ダウンロード
VGXプレゼン資料
VGX_Presentaion_2019-10.pdf
PDFファイル 321.5 KB
ダウンロード
VGX外観図
VGX_外観図_2019-10.pdf
PDFファイル 71.5 KB