300mmウェーハのFOUP, FOSB用
真空デシケーター
ベーシックユニット FVD-BU
- ウェーハをFOUP, FOSB（パージポート付）に入れたまま真空保管、脱ガス、乾燥、ガス置換など多目的に使えます
- ウェーハはFOUPの気密性に影響されず、長期間保管できます
- チャンバーはFOUPの大きさに合わせたコンパクトなサイズ
- FOUPなどの出し入れに便利な上蓋式
- ダンパーヒンジ付きで開閉がスムーズ
- 8インチ以下のカセットもウェーハも真空保管できます
予備ポートは内面にもPTネジ
チャンバー内に PT1/4 の継手などの部品を取り付けることができ、
いろいろな実験に便利です。
ベントバルブのチャンバー側に
フィルターを付ける
チャンバー内に
ヒーターノズルを付ける
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電動タイプ FVD-DT
ベーシックユニットの電動タイプ
電磁弁、スイッチ、デジタル圧力センサー、PLCの構成です
スイッチとデジタル圧力計
電磁弁ユニット
オプション：スムーズベントユニット
弊社独自のスムーズベントアタッチメントを組み込んだユニット
スローベントからベントへ、自動的に切り替わります
