300mmウェーハのFOUP, FOSB用

真空デシケーター

ベーシックユニット FVD-BU

  •  ウェーハをFOUP, FOSB(パージポート付)に入れたまま真空保管、脱ガス、乾燥、ガス置換など多目的に使えます
  • ウェーハはFOUPの気密性に影響されず、長期間保管できます
  • チャンバーはFOUPの大きさに合わせたコンパクトなサイズ
  • FOUPなどの出し入れに便利な上蓋式 
  • ダンパーヒンジ付きで開閉がスムーズ
  •  8インチ以下のカセットもウェーハも真空保管できます

予備ポートは内面にもPTネジ

チャンバー内に PT1/4 の継手などの部品を取り付けることができ、

いろいろな実験に便利です。

ベントバルブのチャンバー側に

フィルターを付ける

チャンバー内に

ヒーターノズルを付ける


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カタログ(外観図あり)
VEC_FVD_カタログ_2pg_2019-09.pdf
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電動タイプ FVD-DT

ベーシックユニットの電動タイプ

電磁弁、スイッチ、デジタル圧力センサー、PLCの構成です

スイッチとデジタル圧力計

電磁弁ユニット



オプション:スムーズベントユニット

弊社独自のスムーズベントアタッチメントを組み込んだユニット

スローベントからベントへ、自動的に切り替わります

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スムーズベントアタッチメント
SVA_カタログ_2017.pdf
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