酸素フリー、高効率のウェーハプロセスを実現する
真空EFEM
真空EFEMの構想、基本設計は完了していますが、試作は未着手です。
実現するにはデバイスメーカ、装置メーカ、搬送機メーカのコラボが必要です。
特許出願中
真空EFEMの特長
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FOUPから取り出された未処理のウェーハは、処理後FOUPに戻されるまで
大気に曝されない、酸素フリーのプロセスが可能 - 処理済のウェーハはN2雰囲気のFOUPに収容
- L/L室は大気に曝されないので放出ガスが激減する
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L/L室は大気圧からの排気、および大気圧にベントする必要がない、
（スロー排気もスローベントも必要ない） - FFUは不要
- スループットおよび品質の向上
各ユニットは低中真空（高真空ではない）対応のため、
導入コスト、ランニングコストは比較的安価
