酸素フリー、高効率のウェーハプロセスを実現する

真空EFEM

真空EFEMの構想、基本設計は完了していますが、試作は未着手です。

実現するにはデバイスメーカ、装置メーカ、搬送機メーカのコラボが必要です。

特許出願中

真空EFEMの特長

  • FOUPから取り出された未処理のウェーハは、処理後FOUPに戻されるまで
    大気に曝されない、酸素フリーのプロセスが可能
  • 処理済のウェーハはN2雰囲気のFOUPに収容
  • L/L室は大気に曝されないので放出ガスが激減する
  • L/L室は大気圧からの排気、および大気圧にベントする必要がない、
    (スロー排気もスローベントも必要ない)
  • FFUは不要
  • スループットおよび品質の向上 

 各ユニットは低中真空(高真空ではない)対応のため、

導入コスト、ランニングコストは比較的安価


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真空EFEMプレゼン資料
V-EFEM_Presen_2019-10.pdf
PDFファイル 219.0 KB
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真空EFEM外観図
V-EFEM_外観図_2019-10.pdf
PDFファイル 81.2 KB