真空EFEMの構想、基本設計は完了していますが、試作は未着手です。
実現するにはデバイスメーカ、装置メーカ、搬送機メーカのコラボが必要です。
特許出願中
各ユニットは低中真空(高真空ではない)対応のため、
導入コスト、ランニングコストは比較的安価