グローブフィッター Glove fitter

youtube動画をご覧ください

真空EFEM (Vacuum EFEM)

酸素フリーのウェーハプロセス

Oxygen-free wafer process

youtube動画をご覧ください

究極の真空排気省エネソリューション

真空集中排気システム

Vacuum Integrated Evacuation system

VIE-system

youtube動画をご覧ください

ダウンロード
プレゼン資料
VIE_system_2020-01.pdf
PDFファイル 259.9 KB

真空包装機用 真空サーバー