次世代のウェーハハンドリングを提案いたします

N2システムの先を行く

真空システムのラインアップ


FVD-BU

FOUP用真空デシケーター

ウェーハをFOUPに入れたまま、まるごと

真空保管、脱ガス、乾燥、ガス置換

など多目的に使えます

VGX

 真空ガス置換システム

チャンバーとFOUP内を真空引きの後、

N2ガスでベントします

FOUP内はロードロック室なみの低酸素濃度



V-EFEM

真空EFEM

酸素フリー、高効率のウェーハプロセスを提案します

ウェーハはプロセスを経てFOUPに戻るまで
空気にさらされません

VBWS

真空ベアウェーハストッカ

ウェーハを理想的な空間で長期間保管できます

ストッカチャンバは常時真空

酸素フリー、パーティクルフリー 

ダウンロード
VBWS構想図
1P-6B_VBWS.pdf
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